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SCREEN开发具有业界领先生产率的SS-3300S洗涤塔型单晶圆清洗系统

作者: CN-INFO   责任编辑:文传商讯 2020-12-10 13:36:00
来源:文传商讯关键字:null

日本京都--(美国商业资讯)--SCREEN Holdings Group (TOKYO:7735)旗下子公司SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.(SCREEN SPE,总裁:Masato Goto)已完成其SS-3300S洗涤塔型1单晶圆清洗系统的开发。SS-3300S可在每小时高达1,000片晶圆2的处理速度下提供高度稳定的性能,从而使其能够提供业界领先的生产率。该系统将于12月开始销售。

近年来,在远程办公、在线学习和视频流传输等活动所需的数据流量持续增长的推动下,数据中心市场已显著扩大。同时,主要用于车载和工业应用的5G智能手机和物联网(IoT)基础设施的快速普及,促使对这些及其他前沿市场所需的精密半导体的需求不断增长。

作为响应,半导体制造商已不断改进用于先进逻辑和存储IC的电路的小型化和集成度,从而造成对在半导体制造过程中去除微粒子的需求更甚。更具体地说,这使得对高处理量洗涤塔型单晶圆清洗系统的需求日益增长,这些系统可提供更高水平的清洗性能以及更稳定的处理能力。

基于这些趋势,SCREEN SPE开发了SS-3300S,这是一款洗涤塔型单晶圆清洗系统,具有业界领先的生产率。SS-3300S延续了广受赞誉的处理可靠性,这种可靠性已经使SS-3200成为该领域行业事实上的标准,目前已在全球出货超过500套系统。SS-3300S还可以继续使用与为SS-3200开发完全相同的处理条件,从而确保顺利引入新系统。

作为洗涤塔型系统的行业首创3,SS-3300S配有可安装多达16个腔室的新平台。此外,新的双传送系统大幅提高了系统占地面积产量,帮助SS-3300S达到业界最高水平的实际处理能力,最高可达1,000 wph(比传统型号提高了25%)。同样,控制系统经过重新设计,使得SS-3300S可以按照当前向智慧工厂转型的要求实现物联网(IoT)和系统间连接。

1. 使用软刷和纯净水对晶圆进行物理清洗的方法。
2. 以相同的流量配方在连续运行期间达到最高处理量。
3. 基于SCREEN内部研究。

原文版本可在businesswire.com上查阅:https://www.businesswire.com/news/home/20201208006217/en/

免责声明:本公告之原文版本乃官方授权版本。译文仅供方便了解之用,烦请参照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

联系方式:

SCREEN Holdings Co., Ltd.
公关团队
秘书和公关部
Maki Yamamoto, Atsushi Kurosaki, +81-75-414-7131
nr-info@screen.co.jp

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