Aerotech工作台 为纳米定位和生产应用提供综合解决方案

　　Aerotech 公司现已推出能够以大行程格式提供纳米级性能的直线电机工作台。这款新型的 ANT95-L 交叉滚子轴承工作台采用先进的直接驱动技术来实现 1 纳米精度、±50 纳米重复性和 ±250 纳米的准确度，备有 25 毫米、50 毫米、75 毫米和 100 毫米行程型号。

　　可受益于此款新型工作台的工艺过程包括直写、激光微细加工、检查、芯片划片、谱分析和光学延迟线，在激光加工、光子、医疗设备、半导体和数据存储领域具有研究和生产用途。

　　纳米精度与长行程的结合使此款小型 ANT95-L 能够解决很多应用问题，这些问题在传统上需要将不同供应商提供的多种技术和零部件进行复杂的整合才能予以解决。该产品具有比压电工作台更长的行程和更大的载荷能力。

　　该工作台采用的无摩擦直接驱动技术是一种无钝齿和无接触技术，保证了无间隙和无滞后。防蠕动交叉滚子轴承能够重复可靠地实现超高精度（1 纳米）增量运动，位置内稳定度 <1 纳米。直接驱动和交叉滚子轴承确保在要求平稳和精确运动的工艺过程中实现免维护操作。

　　ANT95-L 工作台备有 X、XY、XYZ 和很多其它单轴或多轴定位组合，通用基座安装使其能够用于各种配置。

　　Aerotech 是为全世界的工业、政府和科研机构提供运动控制产品的领先供应商，其精密产品为需要高精度、高产率运动控制解决方案的高要求应用提供了关键性能。